KASHIYAMA工业的产品在半导体制造领域和高科技行业中已经荣获了*高的评价与信赖。尤其是来自于半导体制造行业的信赖,这是KASHIYAMA工业多年长期以来不断开发进取真空技术的结果。

KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并在*高难度的制程发挥上获得了客户的信赖与评价。除了干式真空泵以外,鲁式及排气组合式真空泵设备在广泛的领域当中发挥它的威力。

产品详细信息:

プロダクトガイド - LEH/LEMシリーズ - 製品の特徴 ポンプの構造原理:当社製水封式真空ポンプは円形ケーシングと羽根車より本体を構成し羽根車はケーシングと偏心した位置に取り付けられています。ケーシング内に適当量の水を入れて羽根車を回転させると、水は遠心力によってケーシングと同心の円形状の水膜を作りながら運動します。

これにより水膜と隣接する羽根と羽根とによって密閉された空間が生じ、羽根車が回転するにしたがって空間は容積変化して、吸入、圧縮、排気を連続的に行ない非常に高能率なポンプとなっています。

公害問題の面から吸引気体中に含まれる種々の有害ガスが水に溶解または混合して排出されるのを防ぐため封水を直接流出させないで循環させて使用する方式もあります。

LEH/LEMシリーズの特徴:

水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に適である。

引火性ガスや腐食性ガスの排気ができる。

摩擦部分が少なく故障がないので連続運転に耐えられる。

低騒音でかつ振動が少ない。

連続排気で脈動がない。

軸封にメカニカルシールを使用し、メンテナンスが容易。

全機種エルモ形で従来のナッシュ形よりも効率到達圧力がよい。

定流量弁を内蔵して適量給水方式を採用している。

LEH型は2段ポンプで高真空用に、LEM型はモーター直結型ポンプでコンパクト、軽量です。

        真空泵LEH100MS

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真空泵NeoDry 36E

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