美国RENISHAW光栅尺TONiC雷尼绍RENISHAW光栅尺TONiC是RENISHAW一种超小型光栅产品,可读取各种20 μm栅距栅尺。其主要特征是IN-TRAC™参考零位,只需轻按按钮即可自动调相,十分*特。TONiC系统包含读数头、模拟量或数字量接口,以及直线或者圆形增量式光栅。直线栅尺包括RGSZ轻薄型镀金栅尺、RELM ZeroMet栅尺、RSLM不锈钢栅尺和RTLC-S自贴式钢带栅尺,同时也提供导轨安装型FASTRACK RTLC直线光栅系统。圆光栅包括RESM不锈钢圆光栅和超高精度REXM圆光栅。
工作原理……TONiC采用雷尼绍***一代的*特光学滤波装置,与SiGNUM(*13页)采用的设计类似,但作了三大重要改进。
***,TONiC设计经过优化,信噪比有所提高。光学滤波系统的这一改进加上精选的**电子器件,大带宽增量信号可达到10 m/s的***速度,同时也是同类光栅中位置抖动(噪声)***的。事实上,TONiC接口内部的其他抗噪电子器件进一步增强了高分辨率型TONiC的抗噪功能,抖动水平*为0.51 nm RMS。
*二大改进就是开发出了完全集成的参考零位。如图所示,现在参考零位分离式探测器直接嵌入增量码道线性光电二*管阵列的中*,从而尽量避免出现扭摆失相。
TONiC的*三个改进是将***动态信号调节功能完全集成到读数头中,也就是说可以直接从读数头获得经过彻底处理的信号,该信号通过自动增益控制和自动偏置控制功能进行优化获得非常低的SDE (±30 nm)。